以下是中國海關總署24日公布的8月鎳進出口數(shù)據(jù)一覽表(單位均為噸):9月同比%年初迄今同比%進口:未鍛壓鎳(精煉鎳+合金)29,357-10.46319,64855.48原產(chǎn)地:俄羅斯13,396-
鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統(tǒng)在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。簡單說的話,靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料,用于高能激光武器中,不同功率密度、不同輸出
濺射靶材主要應用于電子及信息產(chǎn)業(yè),如集成電路、信息存儲、液晶顯示屏、激光存儲器、電子控制器件等;亦可應用于玻璃鍍膜領域;還可以應用于耐磨材料、高溫耐蝕、高檔裝飾用品等行業(yè)。分類根據(jù)形狀可分為長靶,方
眾所周知,靶材材料的技術發(fā)展趨勢與下游應用產(chǎn)業(yè)的薄膜技術發(fā)展趨勢息息相關,隨著應用產(chǎn)業(yè)在薄膜產(chǎn)品或元件上的技術改進,靶材技術也應隨之變化。如Ic制造商.近段時間致力于低電阻率銅布線的開發(fā),預計未來幾
靶材的主要性能要求純度純度是靶材的主要性能指標之一,因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過在實際應用中,對靶材的純度要求也不盡相同。例如,隨著微電子行業(yè)的迅速發(fā)展,硅片尺寸由6”,8“發(fā)展到12”
1.純度靶材的純度對濺射薄膜的性能影響很大。靶材的純度越高,濺射薄膜的性能越好。以純鋁靶為例,純度越高,濺射鋁膜的耐蝕性及電學、光學性能越好。不過在實際應用中,不同用途靶材對純度要求不一樣。例如,一