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靶材應用及形狀

時間:2024-06-23 點擊:145次
濺射靶材主要應用于電子及信息產業(yè),如集成電路、信息存儲、液晶顯示屏、激光存儲器、電子控制器件等;亦可應用于玻璃鍍膜領域;還可以應用于耐磨材料、高溫耐蝕、高檔裝飾用品等行業(yè)。
  
  分類
  
  根據(jù)形狀可分為長靶,方靶,圓靶,異型靶
  
  根據(jù)成份可分為金屬靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材
  
  根據(jù)應用不同又分為半導體關聯(lián)陶瓷靶材、記錄介質陶瓷靶材、顯示陶瓷靶材、超導陶瓷靶材和巨磁電阻陶瓷靶材等
  
  根據(jù)應用領域分為微電子靶材、磁記錄靶材、光碟靶材、貴金屬靶材、薄膜電阻靶材、導電膜靶材、表面改性靶材、光罩層靶材、裝飾層靶材、電極靶材、封裝靶材、其他靶材

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史永泰
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