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磁控濺射靶材技術(shù)要求
1.純度靶材的純度對濺射薄膜的性能影響很大。靶材的純度越高,濺射薄膜的性能越好。以純鋁靶為例,純度越高,濺射鋁膜的耐蝕性及電學(xué)、光學(xué)性能越好。不過在實(shí)際應(yīng)用中,不同用途靶材對純度要求不一樣。例如,一
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濺射原理
1.電焊及電弧燈的電弧（arc）就有電漿存在，如所發(fā)出的強(qiáng)光即是2.日光燈的照明，事實(shí)上即利用此種電漿發(fā)光原理（涂上螢光劑，讓電子或離子打在螢光物質(zhì)上將動(dòng)能轉(zhuǎn)變?yōu)槲灩猓?.天上打雷是因大氣層上的電位